
SEC-720A系统采用标准6U VMEbus,由“E-MC工业主控制板”、“ELAB0410激光干涉仪处理板”、“E-PSC功控传感板”、后IO板以及VME机箱组成。技术指标如下所示:
(1) 激光干涉仪数据采集
机箱插接3块VME激光干涉仪处理板(兼容Keysight N1225A),可实现12轴干涉仪测量,分辨率达0.15nm。
(2) 模拟输入输出
输入:支持16×3个通道的ADC模拟量采样;
输出:支持12×3个通道的DAC模拟量输出。
(3) 数字输入输出
隔离数字IO:支持12×3路隔离IO输入和输出,支持最大速率1M;支持4×3路隔离IO输入和输出,支持最大速率10M;
非隔离数字IO:支持8×3路TTL数字IO输入,8×3路LVTTL数字IO输出。
(4) 接口
通讯接口:EtherCAT从站(E-PSC板卡);多路RS485,速率可配;光通讯口,6通道速率5Gbps;
调试接口:RS422,支持115.2Kbps;
光栅尺接口:12路BissC,最高支持速率16M,可选配Endat;12路ABZ,最高支持速率30M。