变形镜,又称变形反射镜(DM),主要运用于各种自适应光学系统之中,主要用于校正波前畸变,它由很多驱动单元组合而成,每个驱动单元都有自己独立的控制器,在外加电压控制下,变形镜的镜面可以产生需要的形变量,从而对波前像差进行调制。变形镜是自适应光学系统中的重要部件之一
主要特点:
- 调制量大:波前相位调制幅度超过80μm
- 稳定度高:+/-1% over 30s,<10nm RMS over hours
· 高动态范围 :响应时间小于500μs
· 镀膜质量高: R>97% @500nm- 2.0µm
- 表面平整:表面粗糙度 <15Å RMS
- 亚纳米步长精度
- 低磁滞:磁滞误差小于1%
- 单通道相位调制幅度>5.0 µm PTV
