Consumer electronics/Embodied intelligence,Aviation/ Aerospace,Precision mechanics,Research & Science,Semiconductor industry,Data processing/Optical communication
·支持三路±250V控制输出
·支持HSSL高速闭环,搭配Attocube IDS3010激光干涉仪,实现1pm超高分辨率闭环
·多种位置闭环:一路光栅尺闭环,支持ABZ\BiSSC\Endat
·可通过千兆网口TCP/IP 实现外部控制
·可通过数字IO(PWM)控制高压输出
·状态监控:1个数码管、1路RS422
·支持硬件在环仿真(HIL)
搭配自研的MW型压电尺蠖长行程电机,可以实现数十个毫米行程、1nm运动精度控制。