光学生产设备

光学

博顿全自主研发的新型高端射频离子源，具有首创性的中空阴极中和器系列和独特设计的射频中和器系列。专利中和技术，具有起辉时间短，射频自动匹配，离子束流稳定高效，工艺重复性极高等特点。利用多层栅网结构，精准控制离子束方向。全面升级电源与驱动控制系统，控制更稳定、更精准。使用业内首创的专利技术射频馈入件真空部件，具有高绝缘性和高密闭性。工作气体兼容性强。 中空阴极中和器连续工艺时间可达200小时以上；射频中和器系列实现无耗材工作，维护周期可达1000小时以上。