光学生产设备

光学

博顿全自主研发的新型高性能矩形射频离子源，具有30cm、60cm、90cm等三种不同尺寸型号，可实现对米级大口径光学器件的加工，同时可满足连续工艺线的加工需求，支持特定工艺定制化设计。 采用独特设计中空阴极中和器，实现超长连续工作。利用多层栅网结构，确保离子束方向精准。支持离子束流和能量分别独立控制，控制更精准。工作气体兼容性强。 该系列产品已完成微纳光学领域斜齿光栅刻蚀工艺、高温超导带材MgO种子层薄膜沉积工艺等工艺验证，适应多种工作气体，已完成CHF3（三氟甲烷）、Ar（氩气）、O2（氧气）等多种气体的工艺验证。