聚焦型直流离子源

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中山市博顿光电科技有限公司

E4.4316

聚焦型直流离子源

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产品分类

光学生产设备

应用领域

光学

产品介绍

博顿光电自主研发的聚焦型直流离子源，可配备1.5cm / 3cm / 5cm孔径的多层栅网，发射汇聚离子束。使用专利技术的中空阴极中和器，其耗材发热小，维护周期可达200小时以上。支持可移动结构，适用于大面积、异型、特殊材料等加工对象的超高精度非接触式修形及抛光，精度可达亚纳米级。

产品详情

应用方向：适用于离子束修形抛光、离子束刻蚀、离子束清洗、离子束辅助等应用。

应用领域：产品可应用于半导体、红外产品、MEMS、激光、光通讯、航天等领域。