光学生产设备

光学

博顿光电RISE系列-Mini射频离子源是专门面向科研型试验场景设计的小型化专用离子源产品，适应于小型真空腔体内的离子束溅射、离子束刻蚀、离子束辅助沉积等工艺应用，可选配备5cm孔径的多层栅网，离子束能量范围在150-1200eV灵活可调，离子束流可达范围80mA，可选配具有专利技术的中空阴极中和器或射频中和器，支持超长工艺时间，热辐射低，无污染，使用维护简易。