光学生产设备

光学

LAB-IBX是一款专门面向高校和科研院所、实验室用的离子束微纳加工实验平台，可模块化配置离子束溅射、离子束刻蚀、离子束抛光及表面处理等多种功能，实现原位增减材协同加工，支持各类纳米级及原子级加工工艺实验应用。