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深圳市中图仪器股份有限公司
E7.7336
PLR3000系列光纤激光尺
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产品分类
光学测量系统
应用领域
电子/电气/半导体,精密器械
产品介绍
PLR3000系列光纤激光尺基于激光干涉测量原理,是一种高精密度、高灵敏度、高效快速的先进位置检测设备,在非接触高精度测量领域具有其它测量方法无可比拟的优势,相比传统钢带尺或玻璃光栅,具有更加精确的栅距和更高的分辨率,同时其热源隔离设计,保证了更高的稳定性,具有安装快捷,易于准直等特点,是特别为超高精度位置反馈应用而设计,在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。
产品详情

PLR3000光纤激光尺配置高稳定氦氖激光光源,稳频精度最高可达0.02ppm。激光通过保偏光纤引导,用户可轻松将干涉仪配置到任意需要测量位置,最大限度减小阿贝误差。

PLR3000光纤激光尺可根据用户需求,配置单轴、双轴以及三轴输出,轻松实现多轴测量或多自由度测量。同时提供多种干涉探头配置,用户可根据实际需求选择角锥棱镜干涉仪、平面镜干涉仪和差分干涉仪以及无内置干涉镜组的测量探头,满足用户各种复杂场景应用。

此外,我们还可根据客户应用场景,定制个性化解决方案,配合客户解决实际应用需求。

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