高测速超精密激光干涉仪

<<返回

1/2

深圳领聚科技有限公司

E7.7275

高测速超精密激光干涉仪

预约参观

产品分类

光学系统,光电元件,光学测量系统,设备、系统光学参量测量系统,全息测试测量系统与部件,半自动化激光测试测量系统

应用领域

电子/电气/半导体,精密器械 ,高等院校/科研机构

产品介绍

极致高速、精准实时超高测速:最高可达2.7m/s 超高分辨力:最高可达o.o2nm 甚多轴测量:可实现25轴以上同步测量

产品详情

高速系列激光干涉仪，可支持多自由度运动台的o.02nm测量分辨力、2.7m/S测量速度和1OMHz动态更新率。

可实现对光刻机为代表的高端装备精密运动台的高精度动态实时六自由度同步测量。

该系列激光干涉系统可以实现对Keysight、ZYGO同类产品的原位替代。