皮米级微探头系列激光干涉仪,小巧探头配合柔性光纤,令精密测量更加方便,排除超精密测量使用难题。
该系列产品可分别用于低反射率物体测量、大量程线位移测量,大容差线/角位移测量,支持OEM灵活定制,提供高真空等兼容场景版本,为用户提供精准可靠的位置监测。
本产品对标德国Attocube、Smaract同类产品仪器。