随着光学系统制造技术的不断发展，对球面高精度检测的需求不断增长。计算全息图（CGH）干涉检测法是面形检测的高精度检测方法之一，CGH是一种衍射光学元件，可以产生几乎任意形式的相位或振幅分布，从而产生几乎任意形状的波前，并且可以实现纳米级精度的面形检测。

对于CGH干涉检测法，基板误差和刻蚀深度误差是制约检测精度的重要影响因素。衍射式球面标准镜是用于检测球面的CGH，入射光经CGH衍射后产生球面波，实现球面标准镜的功能。衍射式球面标准镜通过基板误差和刻蚀深度误差的抑制及标定，大幅提高了检测精度，最终形成高端光学元件的亚纳米精度检测能力，助力我国先进光学制造领域向着下一个精度量级发展。